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자이스, '유리기판 전용' 광학 검사 솔루션 개발 추진 - 전자신문
AI 요약
독일의 광학 및 전자제품 전문 기업인 자이스(Zeiss)가 반도체 후공정의 핵심 기술로 부상하는 유리기판(Glass Substrate) 전용 광학 검사 솔루션 개발에 나선다. 유리기판은 기존 실리콘 웨이퍼 대비 평탄도가 우수하고 열팽창 계수가 낮아 고성능 반도체 구현에 유리하며, 특히 차세대 고대역폭 메모리(HBM) 등 첨단 패키징 기술에 필수적인 소재로 주목받고 있다. 자이스는 이러한 유리기판의 미세한 결함...